Процесс производства полупроводников

Что такое полупроводники?

Полупроводники обладают специфическими электрическими свойствами. Вещество, которое проводит электричество, называется проводником, а вещество, которое не проводит электричество, называется изолятором. Полупроводники — это вещества со свойствами где-то между ними. Интегральные схемы и электронные дискретные компоненты, такие как диоды и транзисторы, изготовлены из полупроводников. Распространенными элементарными полупроводниками являются кремний и германий. Кремний самый известный и популярный. Кремний образует большинство интегральных схем. Обычными полупроводниковыми соединениями являются арсенид галлия или антимонид индия.

Полупроводниковое производство стало необходимым для многих электронных устройств, а также для социальной инфраструктуры, поддерживающей нашу повседневную жизнь.

Полупроводники играют важную роль в управлении оборудованием в самых разных областях, таких как эксплуатация кондиционеров при комфортной комнатной температуре, повышение безопасности автомобилей, лазерная терапия в современной медицине и многих других. Кроме того, достижения в области полупроводниковых технологий привели к повышению эффективности систем, миниатюризации и энергосбережению, что, в свою очередь, помогает сохранить глобальную окружающую среду в дополнение к обеспечению безопасной и комфортной жизни и созданию процветающего будущего.

Полупроводники были открыты еще в 19 веке. В 1940-х годах были изобретены транзисторы. Радиоприемники, в которых до этого использовались электронные лампы, были значительно уменьшены в размерах и стали портативными.

Широко известным полупроводником является кремний. Электронные компоненты, использующие полупроводники, называются полупроводниковыми устройствами, в том числе ИС, которая представляет собой интегральную схему транзисторов. Полупроводниковые устройства, установленные во многих электронных устройствах, являются важными электронными компонентами, которые поддерживают нашу повседневную жизнь.

Обработка пластин

В процессе производства ИС электронные схемы с такими компонентами, как транзисторы, формируются на поверхности кремниевой кристаллической пластины.

Основы формирования интегральных схем:

На пластину наносится тонкий пленочный слой, который будет формировать проводку, транзисторы и другие компоненты (осаждение).
Тонкая пленка покрыта фоторезистом. Рисунок схемы фотошаблона (сетки) затем проецируется на фоторезист с использованием технологии фотолитографии.
Проявленный фоторезист используется в качестве маски для травления тонкой пленки для придания формы проводке и другим компонентам.
При этом формируется один слой схемы. Транзисторы формируются на самом нижнем слое. Затем аналогичный процесс повторяется, и множество слоев цепей формируются друг над другом.

В процессе создания интегральной схемы есть этапы проверки и измерения, чтобы проверить, изготовлены ли шаблоны так, как задумано. При обнаружении дефектов производство будет остановлено для устранения дефектов из процесса и внесения небольших изменений в условия изготовления в целях исправления. На одной пластине изготавливается более сотни полупроводниковых кристаллов. В настоящее время самая большая кремниевая пластина имеет диаметр 300 мм. Производители полупроводников рассматривают кремниевые пластины диаметром 450 мм для использования в будущем.

Нагреватели для полупроводниковой промышленности

Оборудование, используемое в производственных процессах для производства транзисторов, устройств памяти, микропроцессоров, кристаллических кремниевых фотоэлектрических (ФЭ) элементов и тонкопленочных фотоэлементов, требует тепловых решений. Зная о важности качественного нагрева, Полимернагрев предоставляет индивидуальные решения для процессов производства полупроводников.

Лучшие тепловые решения не только учитывают температуру нагревательного процесса, но также понимают взаимодействие давления, вакуума, времени, потока и окружающей среды. Нагреватели Полимернагрев в России являются лучшим доступным решением для вашей задачи по нагреву.

Полимернагрев является ведущим российским производителем высокоэффективных тепловых решений для излучения, конвекции и теплопроводности для полупроводниковой и фотогальванической промышленности. Свяжитесь с нами сегодня!

Нагреватели для осаждения и травления

Полупроводниковые пластины обычно определяются скоростью устройства, небольшой шириной линии и расстоянием между транзисторами. Фотоэлектрические (PV) элементы определяются их эффективностью в преобразовании света в электричество и стоимостью за ватт. Обработка полупроводниковых пластин и фотоэлементов требует нанесения материалов для создания полупроводниковых переходов, соединения слоев и травления фоторезиста и краев линий. Точное регулирование температуры процессов осаждения и травления имеет решающее значение для производительности устройства и увеличения выхода продукта. Проверенные электронагреватели Полимернагрев можно быстро настроить для обеспечения оптимальной производительности в CVD, PECVD, LPCVD, плазменном травлении и другом критическом технологическом оборудовании.

Полимернагрев производит следующие нагреватели для полупроводникового производства

Полимернагрев разрабатывает и производит нагревательные решения для обработки полупроводников по индивидуальному заказу. Наши нагревательные решения могут использоваться на различных этапах обработки пластин. Все конструкции нагревателей разрабатываются нашей командой инженеров в соответствии с каждой задачей по нагреву отдельно. Наши производственные возможности позволяют нам обеспечивать кратчайшие сроки изготовления всех типов промышленных электронагревателей.

Литые нагреватели для обработки полупроводников
Изготовленные на заказ гибкие нагреватели и нагревательные элементы
Водонагреватели
Нагреватели для обработки пластин

В Полимернагрев мы предлагаем следующие типы решений для теплового нагрева и контроля температуры:

Гибкие силиконовые нагреватели обеспечивают высокий уровень гибкости и точности, необходимые для оптимальных тепловых характеристик во время различных операций по обработке пластин.
Патронные ТЭНы
Эти быстродействующие нагреватели обеспечивают равномерную температуру, превосходную теплопередачу и могут выдерживать высокие температуры. Мы предлагаем патронные нагреватели под заказ, или из стандартных моделей в наличии на складе которые обеспечивают превосходную производительность в компактных пространствах.
Трубчатые нагреватели
Эти нагреватели подходят для широкого спектра применений с водяным и воздушным обогревом.
Датчики температуры
Обеспечивают воспроизводимость, точность и стабильность, необходимые для обработки пластин. Наши термопары обеспечивают превосходную работу в сложных условиях.